Boron11 ट्राइक्लोराइड अर्धचालक डोपेंट सेमीकंडक्टर ड्राई नक़्क़ाशी
उत्पाद परिचय
सामान्य तापमान और दबाव में, बोरॉन ट्राइक्लोराइड (BCL 3 ) रंगहीन धुआं गैस है, जो ज्वलनशील, तीखी, अम्लीय गंध है। बोरोन ट्राइक्लोराइड हाइड्रोक्लोरिक एसिड और बोरिक एसिड में विघटित हो जाता है और पानी के साथ बहुत अधिक गर्मी का सामना करता है, यह हाइड्रोलिसिस के कारण गीली हवा में धुआं पैदा करता है, और बीसीएल 3 अल्कोहल में हाइड्रोक्लोरिक एसिड और बोरिक एसिड एस्टर में विघटित हो जाता है। बोरान ट्राइक्लोराइड में एक मजबूत प्रतिक्रिया क्षमता होती है और यह विभिन्न प्रकार के समन्वय यौगिकों का निर्माण कर सकता है। बोरान ट्राइक्लोराइड गर्म होने पर कांच और सिरेमिक के साथ प्रतिक्रिया कर सकता है, और यह कई कार्बनिक यौगिकों के साथ भी प्रतिक्रिया करता है ताकि विभिन्न प्रकार के ऑर्गनोबोरोन यौगिकों का निर्माण किया जा सके। उच्च शुद्धता बोरोन 11 ट्राइक्लोराइड का उपयोग मुख्य रूप से (सिलिकॉन) सेमीकंडक्टर उपकरणों की निर्माण प्रक्रिया में प्रसार डोपिंग के लिए किया जाता है। बोरॉन अशुद्धियों को बीसीएल 3 के अपघटन के माध्यम से उत्पन्न किया जाता है और उच्च तापमान पर पी-प्रकार सेमीकंडक्टर बनाने के लिए सिलिकॉन की ओर फैल जाता है। Bcl 3 का उपयोग AL, MOSI 2 , TASI 2 , TISI 2 , WSI और अन्य सामग्रियों के सूखे नक़्क़ाशी के लिए भी किया जा सकता है ।
गुणवत्ता विनिर्देशन
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items
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Units
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Index
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Boron11 Trichloride≥
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Vol.%
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99.9995
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Oxygen+Argon<
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Vol.ppm
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1
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Nitrogen<
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Vol.ppm
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4
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Ca
rbon monoxide<
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Vol.ppm
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0.5
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Carbon dioxide<
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Vol.ppm
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0.2
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Methane <
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Vol.ppm
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0.5
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Total impurity content≤
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Vol.ppm
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5
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Metal ion
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Vol.ppm
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Supply and demand agreement
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आवेदन
बोरॉन ट्राइक्लोराइड का उपयोग उच्च शुद्ध बोरॉन, कार्बनिक संश्लेषण के लिए उत्प्रेरक, सिलिकेट अपघटन के लिए फ्लक्सिंग एजेंट के निर्माण के लिए किया जा सकता है, और यह मिश्र धातु शोधन में डीऑक्सीडाइज़र, नाइट्राइड्स और कार्बाइड के एडिटिव के रूप में भी उपयोग किया जाता है। उच्च शुद्ध बोरोन 11 ट्राइक्लोराइड का उपयोग मुख्य रूप से प्रसार डोपिंग, आयन आरोपण, सूखी नक़्क़ाशी और अर्धचालक उपकरणों और एकीकृत सर्किट निर्माण में अन्य प्रक्रियाओं में किया जाता है।
पैकेजिंग और भंडारण
Boron11 ट्राइक्लोराइड सिलेंडर में भरा है। Boron11 ट्राइक्लोराइड से भरा सिलेंडर GB14193 के प्रासंगिक प्रावधानों के अनुरूप है। पैकेजिंग विनिर्देशों में 10L और 47L शामिल हैं। उत्पाद को 60 ℃ से नीचे एक छायादार, सूखा और हवादार स्टोररूम में संग्रहीत किया जाता है । यह सूर्य को उजागर करने और गर्मी स्रोतों से दूर रहने के लिए मना किया जाता है। पैकेज को सील किया जाना चाहिए और इसे अलग से क्षार और अन्य खतरनाक लेखों के साथ संग्रहीत किया जाना चाहिए।
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